μλΉλμμ μ€μ λ°νλ₯Ό μλκ³ λ―Έκ΅ νλΌλΈνΌμλ°λ체μ§μκ° κΈλ±νμ 28μΌ μ€μ κ΅λ΄ μ¦μμμ μΌμ±μ μ, SKνμ΄λμ€ λ±λ 3% μνμ κ°μΈλ₯Ό λνλ΄κ³ μλ€. μ΄λ μ€μ 10μ25λΆ νμ¬ μΌμ±μ μμ μ£Όκ°λ μ μ₯ λλΉ 3.34% μ€λ₯Έ μ£ΌλΉ 5λ§5700μμ κ±°λλκ³ μλ€. SKνμ΄λμ€ μμ 2.96% μμΉν 20λ§8500μμ κΈ°λ‘ μ€μ΄λ€. μ΄λ κ°λ°€ λ΄μ μ¦μμμ λ°λμ²΄μ£Όκ° κ°μΈλ₯Ό λ³΄μΈ μ¬νλ‘ νμ΄λλ€. μλΉλμ(3.21%), λΈλ‘λμ»΄(3.03%), AMD
νκ΅κ±°λμκ° 27μΌ 'λ°Έλ₯μ
νλ‘κ·Έλ¨ μν 1μ£Όλ
κΈ°λ
νμ¬'λ₯Ό μ΄κ³ HDνλμΌλ νΈλ¦, KBκΈμ΅ λ± 10κ°μ¬λ₯Ό λ°Έλ₯μ
(κΈ°μ
κ°μΉ μ κ³ ) μ°μκΈ°μ
μΌλ‘ μ μ ν΄ νμ°½νλ€. λ°Έλ₯μ
νλ‘κ·Έλ¨μ μ½λ¦¬μ λμ€μΉ΄μ΄νΈ(νκ΅ μ¦μ μ νκ°) ν΄μλ₯Ό μν΄ μ§λν΄ μ λΆ μ£Όλλ‘ μΆμ§λ μ¬μ
μ΄λ€. μ΄λ νκ΅κ±°λμλ μ§λ 1λ
κ° κΈ°μ
κ°μΉ μ κ³ λ₯Ό μν λ
Έλ ₯κ³Ό μ°μν μ±κ³Όλ₯Ό 보μ΄λ©° λ°Έλ₯μ
λ¬Έν νμ°μ κΈ°μ¬ν μ°μκΈ°μ
10μ¬λ₯Ό νμ°½νλ€κ³ λ°νλ€. λ¨Όμ μ±μ₯
νλ―Έλ°λμ²΄κ° μ°¨μΈλ κ³ λμνλ©λͺ¨λ¦¬(HBM)μΈ HBM4 μ μ‘°μ μ°μ΄λ TCλ³Έλ(μ΄μμ°©μ ν΅ν΄ Dλ¨μ μμ§μΌλ‘ λΆμ΄λ μ₯λΉ)λ₯Ό μ΄λ₯΄λ©΄ μ¬ 3λΆκΈ° κ΅λ΄μΈ μ£Όμ κ³ κ°μ¬μκ² μ λ¬νλ€κ³ 27μΌ λ°νλ€. HBM3μ μ΄μ΄ HBM4μ© TCλ³Έλλ μ£Όμ κ³ κ°μ¬μΈ SKνμ΄λμ€μ λ―Έκ΅ λ§μ΄ν¬λ‘ ν
ν¬λλ‘μ§ λ©νμ λ°λλ€λ μλ―Έλ€. μΌμ±μ μ λ©ν μ¬λΆμ λν΄μλ βμΌμ±λ μ°λ¦¬ μ₯λΉκ° νμν κ²βμ΄λΌλ©° β(μ₯λΉ μ±νμ) κΈ°λ€λ¦¬κ³ μλ€βκ³ νλ€. νλ―Έλ°λμ²΄κ° λ
μ νλ μμ₯μ μ΅κ·Ό ννμΈλ―Έν
μ΄ μ§μ
ν κ²μ λν΄μ βκ΅μ°μ°¨κ° λΉμ₯ ν¬λ₯΄μλ₯Ό λμ΄μμ§ λͺ»νλ κ²μ²λΌ κ²½μμ¬κ° 2~3λ
μ΄λ΄μ λ°λΌμ€μ§ λͺ»ν κ²βμ΄λΌκΉμ μ νλ―Έλ°λ체 μ΅κ³ μ¬λ¬΄μ±
μμ(CFOΒ·λΆμ¬μ₯)λ 26μΌ μμΈ μ¬μλμμ μ° κΈ°κ΄ν¬μμ μ€λͺ
νμμ βλ κ³ κ°μ¬μ HBM4μ© TCλ³Έλλ₯Ό λ°μ£Όνλ 건 λ°°λ‘ μΉλ©΄ βμ§μβκ° λλ μν©βμ΄λΌλ©° μ΄κ°μ΄ λ°νλ€. μ΄μ΄ κ·Έλ βμ¬ν΄ μ°κ° ν΄μΈ λ§€μΆ λΉμ€μ΄ μλ
λ³΄λ€ λλ°° μ΄μ μ¦κ°ν κ²βμ΄λΌλ©° βν νμ¬λ§ λκ³ λ³΄λ©΄ 3λ°° μ΄μ λμ΄λ μλ μλ€βκ³ λ°νλ€.νλ―Έλ°λ체λ λ§μ΄ν¬λ‘ λ± μ κ· κ³ κ°μ¬ λ©νμ νμ
μ΄ μ§λ 1λΆκΈ° ν΄μΈ κ³ κ°μ¬ λΉμ€μ΄ 90%λ‘
26μΌ νλμ¦κΆμ λ°λ체 μ₯λΉ μ
체 ν
μ€κ° SKνμ΄λμ€ κ³΅μ₯ μ¦μ€ μνλ₯Ό λ³Ό κ²μ΄λΌλ©° ν¬μμ견 'BUY'μ λͺ©νμ£Όκ° 3λ§ 4000μμ μ μνλ€. λ°λ체 곡μ μ ν¬κ² μ¨μ΄νΌλ₯Ό κ°κ³΅νμ¬ μΉ©μ λ§λλ μ (ε)곡μ κ³Ό λ§λ€μ΄μ§ μΉ©μ 쑰립νκ³ κ²μ¬νλ ν(εΎ)곡μ μΌλ‘ λλλ€. ν
μ€λ μ 곡μ μ€μμ λ°λ§ νμ±μ μν΄ μ¬μ©λλ μ¦μ°©μ₯λΉμΈ PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)μ 건μμκ°μ₯λΉμΈ 기체μ μκ°μΈμ (Gas Phase Etch
[λΉμ¦λμ€ν¬μ€νΈ] κ΅λ΄ μ£Όμμμ₯μμ λ°λ체주μ μ£Όλͺ©ν΄μΌ νλ€λ μ¦κΆκ° μκ²¬μ΄ λμλ€.