ASML, 차세대 HBM용 핵심 장비 '하이브리드 본더' 개발한다
비타민D님의 게시글
2026-03-13T09:05:41.407467Z
ASML, 차세대 HBM용 핵심 장비 '하이브리드 본더' 개발한다 13일 업계에 따르면 ASML은 반도체 후공정 대상으로 사업 영역을 확대하는 것으로 알려졌다. 최근 하이브리드 본더 시스템의 전체 구조를 설계하고 있다. 한 업계 관계자는 "ASML이 최근 타사와 협력해 하이브리드 본더 개발에 착수한 것으로 안다"고 말했다. ASML이 하이브리드 본더 개발을 함께하는 업체로는 프로드라이브와 VDL-ETG 등이 거론된다. 노광 장비 협력사다. 프로드라이브는 ASML 극자외선(EUV) 노광장비에 탑재되는 자기부상(마그레브) 시스템용 선형 모터와 서보 드라이브 등을 공급한다. ASML의 하이브리드 본더 진출은 시간문제였다는 게 업계 전문가들의 분석이다. 2024년 첫 후공장 장비인 트윈스캔 XT:260을 공개했다. ASML의 첫 3D 심자외선(DUV) 노광장비다.